分子泵组注意关键

　　分子泵组是分子泵与前级泵的串联组合，集两种泵的长处于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6～大气) 作业。

简介

　　分子泵组是使用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之取得定向速度，从而被紧缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：

　　1.牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而取得动量，被驱送到泵的出口。

　　2.涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和停止的定叶片相互配合来完成抽气的。这种泵通常在分子流状态下作业。

　　3.复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

特点

　　复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的长处于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6～1Pa)具有较大的抽速和较高的紧缩比，大大提高了泵的出口压力。