蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别合适蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配备也可完成对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器材及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜作用抱负且性价较高的试验设备。

蒸发镀膜仪功用特点：

真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

选用独立的蒸镀电流控制器，操作便利方便。

真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，便利快速取放样品，进步效率）、1个CF150闸板, 阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（装置电阻规）、5个CF35法兰（1个装置电离规，4个备用，便于,装置其他设备）。

在腔体底部配有5个水冷电极，可支撑4个蒸镀加热舟。

4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。

样品台装置在腔体的顶部。

腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10Å。

可运用循环水冷机。